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特色工艺
硅基分立器件

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IGBT
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MOSFET
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TVS
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FRD
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MEMS
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手艺简介
绝缘栅双极型晶体管(IGBT,,,,,,,Insulated Gate Bipolar Transistor)是一种混淆型电力电子元件,,,,,,,其团结了功率BJT和功率MOSFET的优点,,,,,,,具有MOS栅压控可关断能力,,,,,,,优良的导通特征(低通态功耗和大额定电流),,,,,,,适合的开关速率和较宽的清静事情区。。。。。。。Si IGBT最高耐压可达6500V,,,,,,,事情频率为2kHz至50kHz。。。。。。。现在IGBT普遍应用于消耗类电器、工业控制、工业电源、新能源发电、智能电网、轨道交通、机车牵引和电动汽车等领域。。。。。。。
平台现状
腾博汇tbh恒久专注于功率IGBT工艺手艺的开发,,,,,,,积累了富厚的开发履历和量产履历,,,,,,,现已具备平面IGBT与沟槽IGBT全系列工艺手艺平台能力。。。。。。�;;;;;;L诓┗鉻bh乐成开发了1200V~6500V平面非穿通型IGBT清静面场终止型IGBT、以及600V~1700V沟槽栅场终止型(Trench FS)IGBT,,,,,,,基于Trench FS平台又乐成开发了650V/1200V逆导(RC)IGBT。。。。。。�;;;;;;L诓┗鉻bh8吋量产的最新一代高密度沟槽栅高能氢注入场终止IGBT,,,,,,,饱和压降小、开关消耗低,,,,,,,且已通过车规级可靠性审核,,,,,,,产品应用于新能源汽车、光伏逆变、储能、工业工控等领域。。。。。。。
手艺能力
高密度沟槽栅刻蚀,,,,,,,LOCOS CMP,,,,,,,Poly CMP,,,,,,,Taiko背面研磨,,,,,,,高能氢注入,,,,,,,激光退火,,,,,,,高压大电流CP测试,,,,,,,Ring Cut & Dicing

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手艺简介
金属氧化物半导体场效应管(MOSFET,,,,,,,Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)是由金属、氧化物及半导体三种 质料制成的器件。。。。。。。所谓功率MOSFET(Power MOSFET)是指它能输出较大的事情电流,,,,,,,用于功率输出级的器件,,,,,,,最高耐压可达900V。。。。。。。功率MOSFET主要用于电机控制(电动车、电动工具)、电源管理(锂电�;;;;;;;�,,,,,,,光伏储能)、开关电源(同步整流,,,,,,,PD快充)等领域。。。。。。。
平台现状
腾博汇tbh恒久专注于功率MOSFET工艺手艺平台开发,,,,,,,拥有富厚的MOSFET生产制造履历。。。。。。。现已形成包括Trench MOS,,,,,,,SGT和Super-Junction MOSFET等在内的多种类MOSFET功率器件工艺手艺平台。。。。。。。其中腾博汇tbh8寸研发量产的SGT平台已涵盖30-200V,,,,,,,且已通过车规级可靠性审核。。。。。。。该器件接纳电荷平衡手艺,,,,,,,可以显着减小器件的导通电阻和米勒电容,,,,,,,实现更优的品质因数(FOM),,,,,,,从而有用降低导通消耗,,,,,,,提高开关性能和事情效率,,,,,,,在不中止电源、电池管理系统、电机驱动、服务器等领域有普遍的应用。。。。。。。
手艺能力
高密度深沟槽栅刻蚀,,,,,,,高密度等离子体氧化物填充,,,,,,,多晶硅与氧化硅CMP,,,,,,,Taiko背面研磨

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腾博汇tbh6吋/8吋线拥有富厚的TVS(瞬态电压制制器)工艺研发和生产履历;;;;;;;拥有特色的外延工艺和基于现有CMOS后段产线升级的工艺,,,,,,,能制造出超低电容和超低回折电压的高端产品,,,,,,,客户产品已经打入国际一流3C产品供应链,,,,,,,拥有能为海内外客户定制化平面型和沟槽型产品的工艺计划。。。。。。。

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手艺简介
快恢复二极管(FRD,,,,,,,Fast Recovery Diode)具有快速的开通和高速关断能力,,,,,,,具有极短的反向恢复时间、较小的反向过冲电流和较好的软恢复特征,,,,,,,可用于续流二极管(FWD, Freewheeling diode),,,,,,,在IGBT关断后,,,,,,,为电路中的感性负载提供续流回路,,,,,,,减小电容的充放电时间,,,,,,,同时抑制负载电流的瞬时反向引起的高感应电压。。。。。。。同时,,,,,,,FRD也可以用于整流二极管。。。。。。。现在FRD普遍应用于消耗类电器、工业/工控、可再生能源、新能源汽车等领域。。。。。。。
平台现状
腾博汇tbh6吋拥有以外延片和扩散片为基础的FRD制程,,,,,,,支持电子辐照手艺举行少子寿命控制。。。。。。。已量产包括650V/750V/1200V/1700V的手艺平台工艺,,,,,,,并乐成开发出3300V/4500V/6500V的超高压平台。。。。。。。
腾博汇tbh8吋区熔片(FZ)FRD平台,,,,,,,接纳低发射极掺杂效率设计和高能氢注入缓冲层,,,,,,,以及业内最先进的局域寿命控制手艺(LLC,,,,,,,Local Lifetime Control),,,,,,,具有低正向导通电压、软恢复特征、正温度系数等性能优势。。。。。。。最高结温175℃,,,,,,,并可通过车规级可靠性审核。。。。。。。产品应用于新能源汽车、大功率光伏逆变、储能、工业工控等领域。。。。。。。同时,,,,,,,在此基础上,,,,,,,开发了1200V外延(EPI)FRD平台,,,,,,,本钱更低,,,,,,,以知足客户的差别应用需求。。。。。。。
手艺能力
全局寿命控制,,,,,,,局域寿命控制,,,,,,,Taiko背面研磨,,,,,,,高能氢注入,,,,,,,激光退火,,,,,,,高压大电流CP测试,,,,,,,Ring Cut & Dicing

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手艺简介
MEMS 是使用集成电路制造手艺和微结构、微传感器、控制处置惩罚电路甚至接口电路、通讯电路和电源电路等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统,,,,,,,是微电路和微机械按功效要求在芯片上的集成,,,,,,,属于微电子手艺与机械工程团结的一种工业手艺,,,,,,,普遍应用于消耗电子领域,,,,,,,机械领域、汽车工业领域以及化工与医疗器械领域
平台现状
腾博汇tbh拥有凌驾10年的MEMS加工履历,,,,,,, 具有厚外延,,,,,,,深槽刻蚀,,,,,,,金属蒸金,,,,,,,富硅氮化硅以及其他定制化的解决计划,,,,,,, 现在具备光学MEMS传感器的研发和规模量产能力,,,,,,, 同时, MEMS扬声器仍在一连开发历程中。。。。。。。
手艺能力
CMOS兼容工艺、厚外延、深槽刻蚀、金属蒸金、富硅氮化硅,,,,,,,可应用于硅光通讯、消耗电子、工业控制