海内十大晶圆厂装备招标效果剖析：上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh装备国产化率最高！

芯智讯
2022-05-14

5月12日新闻，，，，，，，据招标平台信息显示，，，，，，，5月10日，，，，，，，上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh半导体多项装备中标效果宣布。。。。。。。。

效果显示，，，，，，，北方华创、拓荆浚浚浚浚浚科技、芯源微、阿斯麦（ASML）等乐成中标上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh特色工艺生产线项目33台装备。。。。。。。。

其中，，，，，，，北方华创中标10台装备，，，，，，，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射装备等；；；；；；拓荆浚浚浚浚浚科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积装备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积装备；；；；；；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机；；；；；；阿斯麦（ASML）中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。。。。。。。。

以此盘算，，，，，，，北方华创、拓荆浚浚浚浚浚科技、芯源微三家合计中标量占比约67%，，，，，，，国产装备比重较大。。。。。。。。

那么，，，，，，，从今年1-4月海内主要晶圆厂关于半导体装备采购的中标情形来看，，，，，，，国产半导体装备的占比又有多高呢？？？？？？

海内十大晶圆厂今年1-4月装备采购累计开标401台

由于半导体装备应用的工艺流程和主要性的差别，，，，，，，我们主要统计光刻、刻蚀、沉积、洗濯等涉及焦点工艺的要害装备中标情形，，，，，，，并将要害半导体装备区分为制程焦点装备（包括光刻、刻蚀、沉积、离子注入装备）、良率提升装备（包括前道检测装备、后道测试装备、洗濯装备）以及主要辅助装备（包括炉管装备、CMP 抛光装备、干法去胶装备、涂胶显影装备），，，，，，，并扫除二手翻新装备影响。。。。。。。。

通过对长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或晶圆代工企业为统计样本，，，，，，，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情形举行梳理。。。。。。。。2022 年 4 月海内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺装备，，，，，，，前四个月合计开标 401 台工艺装备。。。。。。。。

2022 年 4 月开标的 108 台装备主要来自上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh（78 台）、华虹无锡（20 台）、福建晋华（5 台）、时代电气（3 台）、华力微电子（1 台）、华力集成（1 台），，，，，，，上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh及华虹无锡扩产孝顺主要增量。。。。。。。。

2022 年 1- 4 月开标的 401 台装备主要来自华虹无锡（268 台）、上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台），，，，，，，华虹无锡及上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh孝顺主要增量。。。。。。。。

1-4月采购装备以炉管、刻蚀、沉积装备为主

晶圆厂装备结构往往以光刻机为焦点，，，，，，，围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、洗濯等装备，，，，，，，由于差别招标批次对应装备采购种类差别，，，，，，，因此差别时期工艺装备招标种类也会有所差别。。。。。。。。

2022 年 4 月开标的 108 台装备中，，，，，，，凭证差别工艺装备开标数目从高到低排列，，，，，，，划分为炉管装备（30 台）、刻蚀装备（29 台）、前道检测装备（10 台）、洗濯装备（10 台）、干法去胶装备（9 台）、沉积装备（8 台）、离子注入机（4 台）、涂胶显影装备（4台）、后道测试装备（2 台）、光刻机（1 台）、抛光装备（1 台）。。。。。。。。炉管、刻蚀装备孝顺 2022 年 4 月主要扩产增量。。。。。。。。

2022 年 1-4 月开标的 401 台装备中，，，，，，，凭证差别工艺装备开标数目从高到低排列，，，，，，，划分为炉管装备（112台）、刻蚀装备（61 台）、沉积装备（61 台）、前道检测装备（48 台）、后道测试装备（35 台）、离子注入机（18 台）、洗濯装备（17 台）、抛光装备（15 台）、涂胶显影装备（14 台）、干法去胶装备（14 台）、光刻机（6 台）。。。。。。。。总的来看，，，，，，，炉管、刻蚀、沉积装备孝顺 2022 年 1-4 月主要扩产增量。。。。。。。。

1-4月装备采购中标国产率24.2%

我们以装备中标台数盘算国产率（包括拥有翻新营业的厂家），，，，，，，由于差别装备价值量差别，，，，，，，因此与现实市场规模测算的国产率有一定差别。。。。。。。。且思量差别晶圆厂、差别工艺装备的招标批次差别，，，，，，，中国大陆厂家中标频次漫衍未必平均，，，，，，，造成国产率有一定波动。。。。。。。。

从年度数据来看，，，，，，，2021年装备国产率达 27.4%，，，，，，，较 2020 年 16.8%有显着提升。。。。。。。。2022 年 4 月主流晶圆厂开标的 108 台装备中，，，，，，，源自中国大陆厂家制造的装备共计 67 台，，，，，，，占比达 62%；；；；；；2022 年 1-4 月开标的 401 台装备中，，，，，，，源自中国大陆厂家制造的装备共计 97 台，，，，，，，占比达 24.2%。。。。。。。。虽然较2021年有所降低，，，，，，，但这可能是由于海内厂商采购节奏有关，，，，，，，预计整年的装备国产率仍将有望凌驾2021年。。。。。。。。

上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh1-4 月装备采购中标国产率达42.3%

2022 年 1-4 月开标的 401 台装备主要来自华虹无锡（268 台）、上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台）。。。。。。。。国产装备中标数较多的晶圆厂为上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh（44 台）、华虹无锡（40 台）、时代电气（8 台）、福建晋华（5 台）。。。。。。。。其中上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh国产率达42.3%%，，，，，，，华虹无锡开标装备中外洋装备占比相对较高，，，，，，，国产率约为 14.9%。。。。。。。。

回首2020及2021年度各晶圆厂装备采购中标国产率，，，，，，，上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh的装备采购国产化率也是位居第一，，，，，，，划分抵达了75.9%和35.4%。。。。。。。。若是将上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh2020年、2021年、2022年1-4月及阻止现在的5月（67%）的装备采购国产化率占比平均来看，，，，，，，其装备采购国产化率仍高达55%以上。。。。。。。。

1-4月干法去胶、刻蚀、洗濯、离子注入装备采购中标国产率较高

近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的一直生长，，，，，，，在刻蚀、沉积、洗濯、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体装备中标国产率较高。。。。。。。。

2022年1-4月，，，，，，，凭证国产装备中标数目从高到低排序，，，，，，，差别工艺装备海内厂家中标情形如下：刻蚀装备（31 台）、炉管装备（22 台）、干法去胶装备（10 台）、洗濯装备（7 台）、离子注入机（7 台）、沉积装备（6 台）、后道测试装备（4 台）、前道检测装备（3 台）、涂胶显影装备（3 台）。。。。。。。。

其中国产率较高的环节主要为干法去胶装备（国产率 71%）、刻蚀装备（50.8%）、洗濯装备（41.2%）、离子注入机（38.9%）、抛光装备（26.7%）、涂胶显影装备（21.4%）。。。。。。。。

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回首2020及2021年度种种装备采购中标国产率情形，，，，，，，干法去胶（47.4%和45.0%）、CMP抛光（36.4%和41.7%）、洗濯（32.0%和34.7%）、刻蚀（32.5%和24.4%）、炉管装备（22.7%和23.9%）的国产率相对较高。。。。。。。。

北方华创等国产装备厂商受益

按设国产备厂商中标情形来看，，，，，，，2022 年 4 月份中标较多的中国大陆厂家为北方华创、中微公司、芯源微、屹唐、上海精测、盛美上海等（暂时不剖析含有翻新营业的中国大陆厂家）。。。。。。。。

北方华创合计中标 33 台：中标上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh 33 台装备，，，，，，，其中炉管装备 21台，，，，，，，刻蚀装备 12 台。。。。。。。。

中微公司合计中标 13 台：中标华虹无锡 12 台刻蚀装备，，，，，，，中标时代电气1 台刻蚀装备。。。。。。。。

屹唐半导体合计中标 10 台：中标华虹无锡 8 台装备，，，，，，，其中 7 台干法去胶机，，，，，，，1 台热退火装备，，，，，，，中标上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh 2 台灰化机。。。。。。。。

芯源微合计中标 7 台：中标上�；；；；；Ｌ诓┗鉻bh 6 台装备，，，，，，，其中刷片机 5 台，，，，，，，涂胶显影机 1 台，，，，，，，中标福建晋华 1 台涂胶显影机。。。。。。。。

上海精测合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台电子显微镜。。。。。。。。

盛美上海合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台湿法洗濯装备。。。。。。。。

另外，，，，，，，凭证中国国际招标网数据，，，，，，，今年1-3月国产装备厂商中标效果显示：北方华创13台，，，，，，，包括薄膜/干法刻蚀/炉管；；；；；；盛美上海9台，，，，，，，包括湿薄膜/湿法/后道封装；；；；；；拓荆浚浚浚浚浚科技3台，，，，，，，均为薄膜装备；；；；；；华海清科3台，，，，，，，均为CMP装备；；；；；；芯源微2台，，，，，，，均为涂胶显影装备；；；；；；上海微电子2台，，，，，，，为炉管装备；；；；；；至纯1台，，，，，，，为湿法洗濯装备；；；；；；中科信1台，，，，，，，为离子注入装备；；；；；；吉姆西（二手装备厂商）3台，，，，，，，为CMP及检测/量测装备。。。。。。。。

泉源：中国国际招标网、德邦研究所、民生证券芯智讯

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